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喜報(bào)2021年我司獲《江蘇省國家高新技術(shù)企業(yè)》認(rèn)定
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2021-11-17 10:18:00 - 米境通跨境電商
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跨境電商erp一種OPC數(shù)據(jù)采集方法,包括步驟:步驟一、在晶圓上形成多個(gè)測試圖形;步驟二、采用CD SEM對各測試圖形進(jìn)行測量形成對應(yīng)的原始測量圖像;步驟三、對原始測量圖像進(jìn)行異常圖像識(shí)別,包括如下分步驟:步驟31、對各原始測量圖像進(jìn)行灰度轉(zhuǎn)換形成對應(yīng)的中間轉(zhuǎn)換圖像;步驟32、對中間轉(zhuǎn)換圖像進(jìn)行特征值提取;步驟33、根據(jù)提取的特征值計(jì)算各中間轉(zhuǎn)換圖像之間的相關(guān)系數(shù);步驟34、根據(jù)相關(guān)系數(shù)識(shí)別出異常圖像并將異常圖像過濾掉。能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的異常圖像識(shí)別和異常數(shù)據(jù)過濾,并從而能有效減輕OPC數(shù)據(jù)量測過程中的工程師人工經(jīng)驗(yàn)干預(yù),既保證了OPC數(shù)據(jù)采集的有效性,也減輕了OPC工程師的工作負(fù)荷。